Cảm Biến Khí SiF4 NDIR là thiết bị phân tích khí chuyên dụng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn nhằm giám sát và phát hiện khí Silicon Tetrafluoride (SiF4) với độ chính xác cao. Trong các hệ thống lắng đọng màng mỏng CVD và quy trình làm sạch buồng phản ứng, việc kiểm soát nồng độ khí SiF4 đóng vai trò quan trọng giúp tối ưu hiệu suất sản xuất, giảm chi phí vận hành và nâng cao độ ổn định của hệ thống.
Dòng cảm biến Gasboard-2060 ứng dụng công nghệ hồng ngoại không phân tán NDIR hiện đại, cho phép đo khí SiF4 theo thời gian thực với tốc độ phản hồi nhanh, độ nhạy cao và khả năng hoạt động ổn định trong môi trường chân không của ngành bán dẫn.
Thông Số Kỹ Thuật Cảm Biến Khí SiF4 NDIR Gasboard-2060
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Công nghệ | NDIR |
| Khí đo | SiF4 |
| Giới hạn phát hiện | 1 ppm |
| Thời gian phản hồi | T90 < 2 giây |
| Độ lặp lại | ±0.5% |
| Độ tuyến tính | ±1% F.S. |
| Giao tiếp | Analog / RS232 / RS485 |
| Nhiệt độ hoạt động | 5 – 65°C |
| Ứng dụng | Semiconductor EPD |
Nguyên Lý Hoạt Động Công Nghệ NDIR
Công nghệ NDIR hoạt động dựa trên nguyên lý hấp thụ tia hồng ngoại của phân tử khí. Mỗi loại khí sẽ hấp thụ một bước sóng hồng ngoại riêng biệt. Khi khí SiF4 đi qua buồng đo, cảm biến sẽ xác định mức độ hấp thụ tia hồng ngoại để tính toán nồng độ khí chính xác.
Ưu điểm của công nghệ NDIR là:
- Độ chính xác cao
- Khả năng chống nhiễu tốt
- Hoạt động ổn định lâu dài
- Không bị ảnh hưởng bởi độ ẩm
- Tuổi thọ cảm biến cao
Tham khảo thêm các dòng Máy Phân Tích Khí Oxy Gasboard 3052, Cảm Biến Lưu Lượng NORGREN, Đồng Hồ Đo Lưu Lượng Điện Từ Sinomeasure và thiết bị giám sát khí công nghiệp khác để tối ưu hệ thống kiểm soát khí trong ngành bán dẫn và công nghiệp công nghệ cao.
Lợi Ích Khi Sử Dụng Cảm Biến Khí SiF4 NDIR
Việc sử dụng cảm biến khí SiF4 NDIR giúp doanh nghiệp:
- Tăng độ chính xác trong kiểm soát quy trình bán dẫn
- Giảm thời gian làm sạch buồng phản ứng
- Tiết kiệm chi phí khí và điện năng
- Nâng cao chất lượng wafer và chip bán dẫn
- Giảm lỗi sản phẩm trong quá trình sản xuất
- Tăng độ an toàn cho hệ thống công nghệ cao
Đây là giải pháp tối ưu dành cho các nhà máy bán dẫn, trung tâm nghiên cứu và hệ thống sản xuất điện tử yêu cầu độ chính xác khí cực cao.
Ứng Dụng Của Cảm Biến Khí SiF4 NDIR
- Giám sát khí SiF4 trong hệ thống CVD, LPCVD và PECVD ngành bán dẫn.
- Phát hiện điểm kết thúc làm sạch buồng (EPD) theo thời gian thực.
- Kiểm soát khí trong quá trình khắc plasma và làm sạch buồng phản ứng.
- Ứng dụng trong dây chuyền sản xuất wafer, chip và linh kiện điện tử công nghệ cao.
- Giám sát khí trong hệ thống chân không và buồng lắng đọng màng mỏng.
- Phân tích khí fluor hóa trong phòng thí nghiệm và trung tâm nghiên cứu.
- Tối ưu hiệu suất vận hành và giảm tiêu hao khí trong nhà máy bán dẫn.
- Hỗ trợ tự động hóa và kiểm soát quy trình công nghệ chính xác cao.
Quý khách cũng có thể xem thêm: maykhuaychim.vn
Kết Luận
Cảm Biến Khí SiF4 NDIR Gasboard-2060 là giải pháp giám sát khí hiện đại dành cho ngành công nghiệp bán dẫn và hệ thống CVD công nghệ cao. Với công nghệ NDIR tiên tiến, độ nhạy cao, phản hồi nhanh và khả năng hoạt động ổn định, thiết bị giúp tối ưu quá trình phát hiện điểm kết thúc làm sạch buồng, nâng cao hiệu suất vận hành và giảm chi phí sản xuất.
Thông Tin Liên Hệ
Qúy khách có thể xem thêm nhiều sản phẩm của Âu Lạc tại đây.
Công Ty TNHH Tư Vấn Công Nghệ Âu Lạc
Địa chỉ: 12C12 khu dân cư Nam Long, đường Hà Huy Giáp, khu phố 3A, Phường An Phú Đông, Thành phố Hồ Chí Minh, Việt Nam
Hotline: 0963 293 253 Email: trunghieupcvs@gmal.com
